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南 京 美 赫 半 导 体 设 备 有 限 公 司 中 中 文 英 文 首 页 公 司 介 绍 关 于 我 们 产 品 中 心 晶 圆 缺 陷 检 测 设 备 晶 圆 缺 陷 检 测 设 备 备 件 解 决 方 案 解 决 方 案 行 业 案 例 行 业 案 例 新 闻 资 讯 新 闻 动 态 语 言 中 文 英 文 首 页 公 司 介 绍 关 于 我 们 产 品 中 心 晶 圆 缺 陷 检 测 设 备 晶 圆 缺 陷 检 测 设 备 备 件 解 决 方 案 解 决 方 案 行 业 案 例 行 业 案 例 新 闻 资 讯 新 闻 动 态 联 系 我 们 招 聘 信 息 © 2 0 2 2 南 京 美 赫 半 导 体 设 备 有 限 公 司 苏 I C P 备 2 0 2 2 0 2 9 6 3 8 号 1 1 5 3 2 1 7 8 3 2 0 7 s a l e s @ m a y t e c h . v i p 解 决 方 案 s o l u t i o n S P 1 设 备 解 决 方 案 A r c h e r 1 0 设 备 解 决 方 案 A r c h e r 2 0 0 设 备 解 决 方 案 固 态 激 光 器 升 级 解 决 方 案 微 环 境 解 决 方 案 更 多 解 决 方 案 S P 1 设 备 解 决 方 案 无 图 案 晶 圆 检 测 系 统 S u r f s c a n ® S P 1 T B I P r o 和 S P 1 D L S P r o 系 统 是 业 界 公 认 的 无 图 案 晶 圆 检 测 的 主 力 工 艺 控 制 系 统 ， 适 用 于 射 频 、 汽 车 、 S i C 、 G a N 、 L E D 等 新 兴 技 术 。 在 整 个 半 导 体 生 态 系 统 中 ， 为 衬 底 、 I C 、 设 备 和 材 料 制 造 商 提 供 所 需 的 工 艺 和 设 备 的 认 证 与 监 测 。 S P 1 T B I 和 S P 1 D L S P r o 系 统 都 以 成 功 的 S u r f s c a n ® 平 台 为 基 础 ， 旨 在 实 时 捕 获 裸 晶 圆 、 光 滑 和 粗 糙 薄 膜 和 堆 叠 、 光 阻 和 光 刻 堆 叠 上 的 关 键 缺 陷 ， 并 对 其 进 行 分 类 。 通 过 及 早 发 现 和 识 别 这 些 关 键 缺 陷 和 表 面 质 量 问 题 ， S u r f s c a n S P 1 P r o 系 统 能 够 更 快 地 识 别 工 艺 和 设 备 问 查 看 详 情 A r c h e r 1 0 设 备 解 决 方 案 A r c h e r ™ 1 0 X T + 光 学 套 刻 量 测 套 刻 量 测 系 统 为 各 种 不 同 类 型 、 尺 寸 、 材 料 、 厚 度 的 衬 底 提 供 稳 定 、 准 确 、 可 靠 和 可 重 复 的 套 刻 对 准 及 C D 测 量 。 可 为 生 产 I o T 、 汽 车 、 μ L E D 和 移 动 领 域 产 品 的 半 导 体 制 造 厂 提 供 所 需 的 快 速 、 可 重 复 和 系 统 间 匹 配 等 性 能 ； 设 备 性 能 ： 1 、 高 产 量 可 以 实 现 经 济 有 效 的 套 刻 工 艺 监 控 ， 并 促 进 大 批 量 生 产 ； 2 、 拥 有 先 进 的 对 准 显 微 镜 系 统 和 可 变 光 学 照 射 系 统 配 合 适 用 于 高 、 低 不 同 对 比 度 的 工 艺 层 测 量 。 3 、 支 持 S i 、 S i C 、 G a N 、 石 英 、 玻 璃 、 G a A s 和 其 他 透 明 材 质 的 晶 圆 衬 底 。 5 D A n a l y z e r ® : 可 定 制 的 模 型 和 分 析 方 案 可 为 您 晶 圆 厂 内 的 所 查 看 详 情 A r c h e r 2 0 0 设 备 解 决 方 案 A r c h e r ™ 2 0 0 套 刻 量 测 系 统 A r c h e r 2 0 0 套 刻 量 测 系 统 为 各 种 不 同 类 型 、 尺 寸 、 材 料 、 厚 度 的 衬 底 上 提 供 稳 定 、 准 确 、 可 靠 和 可 重 复 的 套 刻 对 准 及 C D 测 量 。 可 为 生 产 I o T 、 汽 车 、 μ L E D 和 移 动 电 话 领 域 的 产 品 的 晶 圆 厂 提 供 所 需 的 快 速 、 可 重 复 和 系 统 间 匹 配 的 性 能 及 高 产 量 可 以 实 现 经 济 有 效 的 套 刻 工 艺 监 控 ， 并 促 进 大 批 量 生 产 先 进 的 对 准 显 微 镜 系 统 和 可 变 光 学 照 射 系 统 配 合 ， 适 用 于 高 、 低 不 同 对 比 度 的 工 艺 层 测 量 支 持 S i 、 S i C 、 G a N 、 石 英 、 玻 璃 、 G a A s 和 其 他 透 明 材 料 的 晶 圆 衬 底 。 5 D A n a l y z e r ® : 可 定 制 的 模 型 和 分 析 菜 单 为 晶 圆 厂 内 的 所 有 步 进 式 、 扫 描 式 光 刻 机 提 供 准 确 的 校 正 。 多 元 化 查 看 详 情 固 态 激 光 器 升 级 解 决 方 案 气 态 激 光 器 升 级 固 态 激 光 器 解 决 方 案 气 态 雷 射 ( G a s l a s e r s )   气 体 雷 射 由 于 其 物 态 固 有 的 特 性 ， 所 以 有 些 因 此 而 产 生 的 特 征 ； 优 点 ： 气 体 分 子 分 布 均 匀 、 能 阶 较 单 纯 ， 所 以 气 体 雷 射 的 光 质 量 在 均 匀 性 和 同 调 性 方 面 都 较 佳 ， 早 期 精 密 量 测 通 常 采 用 之 。 缺 点 ： 因 气 体 密 度 最 低 ， 要 得 到 瞬 间 的 脉 冲 高 峰 值 功 率 比 较 难 。 固 态 雷 射 ( S o l i d s t a t e l a s e r s ) 固 体 雷 射 是 以 固 体 当 活 性 介 质 ， 大 部 分 是 将 具 有 产 生 受 激 发 射 作 用 的 离 子 掺 入 玻 璃 或 晶 体 中 ， 以 人 工 方 法 制 造 而 成 。 一 般 说 来 ， 固 体 雷 射 由 于 其 物 态 固 有 的 特 性 ， 所 以 有 些 因 此 而 产 生 的 特 征 ： 1 、 优 点 ： 固 查 看 详 情 微 环 境 解 决 方 案 超 洁 净 解 决 方 案 随 着 半 导 体 芯 片 关 键 线 宽 尺 寸 缩 减 ， 从 早 期 的 微 米 （ μ m ） 级 别 发 展 至 今 的 纳 米 （ n m ） 级 别 ， 芯 片 制 造 对 洁 净 度 的 要 求 越 来 越 高 ， 如 果 在 生 产 过 程 中 空 气 洁 净 程 度 达 不 到 要 求 ， 产 品 的 良 品 率 会 受 到 很 大 的 影 响 。 集 成 电 路 产 业 链 几 乎 所 有 的 主 要 环 节 ， 从 单 晶 硅 片 制 造 、 到 I C 制 造 及 封 装 ， 都 需 要 在 洁 净 室 中 完 成 ， 对 于 洁 净 度 的 要 求 高 。 为 维 持 洁 净 室 的 洁 净 度 ， 半 导 体 洁 净 厂 房 通 常 采 用 垂 直 单 向 流 的 方 式 ， 通 过 推 出 作 用 ， 将 室 内 污 染 的 空 气 排 至 室 外 ， 从 而 达 到 净 化 空 气 的 目 的 。 如 ： S P 1 / S P 2 等 晶 圆 检 测 设 备 环 境 需 恒 温 恒 湿 洁 净 间 净 化 等 级 为 I S O C l a s s 5 （ 1 0 0 ） 级 ， 温 度 精 度 为 2 2 ± 1 ℃ ， 湿 查 看 详 情 服 务 范 围 s e r v i c e a r e a 中 国 大 陆 / 中 国 台 湾 / 新 加 坡 / 马 来 西 亚 / 日 本 / 韩 国 / 欧 洲 欧 洲 中 国 大 陆 韩 国 日 本 中 国 台 湾 新 加 坡 马 来 西 亚 6 大 技 术 中 心 2 3 个 服 务 网 点 7 * 2 4 小 时 服 务 响 应 4 小 时 服 务 圈 紧 急 故 障 2 小 时 到 达 现 场 新 闻 中 心 n e w s 2 0 2 3 年 6 月 2 9 日 7 月 1 日 上 海 S E M I C O N C h i n a 圆 满 落 幕 2 0 2 1 北 京 微 电 子 国 际 研 讨 会 暨 I C W O R L D 大 会 也 于 1 0 月 2 2 日 在 北 京 经 开 区 举 行 喜 讯 | 美 赫 首 台 S P 2 晶 圆 检 测 设 备 揭 幕 仪 式 圆 满 举 行 美 赫 S P 2 晶 圆 缺 陷 检 测 设 备 现 场 观 摩 活 动 圆 满 结 束 0 7 月 0 1 日 2 0 2 3 年 6 月 2 9 日 7 月 1 日 上 海 S E M I C O N C h i n a 圆 满 落 幕 2 0 2 3 年 6 月 2 9 日 7 月 1 日   上 海 S E M I C O N C h i n a 圆 满 落 幕 “ S E M I C O N C h i n a ” 2 0 2 3 中 国 博 览 会 于 6 月 2 9 日 在 上 海 新 国 际 会 展 中 心 举 行 了 三 天 的 盛 大 开 幕 式 。 本 次 展 览 聚 集 了 包 括 芯 片 设 计 、 制 造 、 封 测 、 装 备 、 材 料 等 在 内 的 全 产 业 链 的 公 司 ， 将 全 球 范 围 内 的 半 导 体 行 业 的 最 新 技 术 与 结 果 进 行 了 全 面 的 展 示 ， 并 将 重 点 放 在 了 对 全 球 范 围 内 半 导 体 产 业 合 作 、 创 新 与 可 持 续 发 展 的 讨 论 上 。 美 埃 科 技 （ M a y a i r ） 协 同 美 赫 半 导 体 公 司 ( M a y t e c h ） 带 着 其 高 端 的 “ 明 星 ” 系 列 新 品 ， 与 与 会 嘉 宾 共 同 探 讨 技 术 革 新 和 行 业 发 展 。 一 、 行 业 大 咖 齐 聚 ， 科 技 与 商 机 并 存 本 展 会 现 场 人 头 攒 动 ， 工 作 人 员 精 准 1 0 月 2 2 日 2 0 2 1 北 京 微 电 子 国 际 研 讨 会 暨 I C W O R L D 大 会 也 于 1 0 月 2 2 日 在 北 京 经 开 区 举 行 2 0 2 1 北 京 微 电 子 国 际 研 讨 会 暨 I C W O R L D 大 会 也 于 1 0 月 2 2 日 在 北 京 经 开 区 举 行 。 本 次 大 会 以 ” 凝 聚 芯 力 量 ， 打 造 芯 永 恒 为 主 题 ， 聚 焦 产 业 发 展 痛 点 、 堵 点 和 关 键 点 ， 凝 聚 全 球 半 导 体 产 业 的 团 体 力 量 ， 汇 聚 国 际 国 内 的 行 业 龙 头 和 企 业 精 英 ， 全 面 构 建 具 有 全 球 竞 争 优 势 的 集 成 电 路 产 业 生 态 高 地 。 0 4 月 2 8 日 喜 讯 | 美 赫 首 台 S P 2 晶 圆 检 测 设 备 揭 幕 仪 式 圆 满 举 行 4 月 2 8 日 ， 美 埃 集 团 旗 下 南 京 美 赫 半 导 体 设 备 有 限 公 司 ， 首 台 S P 2 晶 圆 检 测 设 备 入 厂 开 机 仪 式 ， 这 也 是 美 赫 继 S P 1 后 首 台 S P 2 晶 圆 检 测 设 备 入 驻 美 赫 自 主 建 设 的 洁 净 室 内 。

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